搜索结果: 1-5 共查到“学术指南 化学工程 Sol-gel”相关记录5条 . 查询时间(0.062 秒)
专著信息
书名
Effect of Annealing on the Properties of Low-k Nanoporous SiO2 Films Prepared by Sol-Gel Method with Catalyst HF
语种
英文
撰写或编译
作者
Z.W. He,X.Q. Liu,D.Y. Xu,Y.Y. Wang
第一作者单位
出版社
Microelectronics R...
专著信息
书名
Characteristic of nanoporous SiO2 thin film prepared by sol-gel method with catalyst HF
语种
英文
撰写或编译
作者
Z.W.He,X.Q.Liu,D.Y.Xu,Q.Su,D.F.Guo,Y.Y Wang
第一作者单位
出版社
Materials Science Forum 475-479 17...
专著信息
书名
Improvement of electrical properties of low dielectric constant nanoporous silica films prepared using sol-gel method with catalyst HF
语种
英文
撰写或编译
作者
Z.W.He,X.Q.Liu,Q.Su,Y.Y Wang
第一作者单位
出版社
Ap...
专著信息
书名
Electrical Properties of Nanoporous F Doped SiO2 Low-k Thin Films Prepared by Sol-Gel Method with catalyst HF
语种
英文
撰写或编译
作者
Zhi-Wei He,Xue-Qin Liu,Yong-Ping Guo,Yin-Yue Wang
第一作者单位
出版社
Journa...
专著信息
书名
Structural characteristic and thermal stability of nanoporous SiO2 films prepared by sol-gel method with catalyst HF
语种
英文
撰写或编译
作者
Z.W. He,X.Q. Liu,Y.Y. Wang
第一作者单位
出版社
Materials Science & En...