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Si/SiGe腐蚀仃止技术及其在工艺中的应用
2007/7/28
期刊信息
篇名
Si/SiGe腐蚀仃止技术及其在工艺中的应用
语种
中文
撰写或编译
作者
陈建新
第一作者单位
刊物名称
北工大学报
页面
1995、11
出版日期
1995年
月
日
文章标识(ISSN)
相关项目
SiGe/Si异质结超高速微电子和红外光电子的器件和集成