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搜索结果: 1-2 共查到半导体材料 CMOS相关记录2条 . 查询时间(0.049 秒)
Nanoscale-computing fabrics based on novel materials such as semiconductor nanowires, carbon nanotubes, graphene, etc. have been proposed in recent years. These fabrics employ unconventional manufactu...
该型材料主要用于亚微米、深亚微米CMOS工艺集成电路的制造。研究中开发了Ф4-6英寸P/P+、N/N+ CMOS外延硅材料;解决了CMOS硅外延生长、外延吸杂关键技术;探讨了外延生长工艺中本征吸杂与各种外吸杂作用的机制、吸杂效率、吸杂稳定性及对硅外延片质量影响;提出了气相腐蚀、调制掺杂、重掺硅衬底片平整度改进的新工艺技术途径,建立了完整的亚微米、深亚微米CMOS电路用P/P+、N/N+硅外延片生长...

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