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MOEMS微镜面阵光谱仪的优化设计与实验
分辨率 微镜 光谱仪 MOEMS
2011/12/1
MOEMS(micro optical electronic mechanical system)微镜面阵光谱仪主要利用微镜面阵分时选通实现单个探测器光谱测量，具有无需斩波器实现脉冲信号输出，无需机械模板实现哈达吗调制，象元分辨率高，体积小，成本低等优点。针对MOEMS微镜面阵光谱仪设计中，狭缝尺寸与光通量之间的矛盾，本文系统深入的分析该光谱仪微型结构引入的新影响因素，获取最优值，实现光谱分辨率改...
针对近红外光谱仪由于红外CCD导致的红外光谱仪高成本问题，提出用MOEMS微镜阵列进行光路结构改进，并且解决了红外光谱仪成像像斑不规则从而难以采用MOEMS微镜阵列进行光谱扫描的问题，设计了一种新的分光成像结构。该结构基于全息凹面光栅理论来规则光谱成像的像斑，采用光学设计软件ZEMAX和针对特定像差评判标准的优化算法，按照像斑规则化的要求设计并优化了光路结构。该光路结构中的平场全息凹面光栅工作波长...
SPIE appoints Chris Mack editor of 'Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS'
SPIE Micro/Nanolithography MEMS MOEMS
2011/2/17
SPIE has announced the appointment of renowned lithography expert Chris A. Mack, adjunct faculty member at the University of Texas at Austin, as editor of the Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, a...