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光电探测器及光探测技术
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1-2
共查到
“
光电探测器及光探测技术 InGaAs/InP
”
相关记录2条 . 查询时间(0.089 秒)
InGaAs/InP
光电探测器
InGaAs/InP
PIN光电探测器
空间遥感
2009/5/20
InGaAs/InP
光电探测器。
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文献传递
用激光微细加工制作平面型
InGaAs/InP
P
IN
光探测器
激光微细加工
单片集成光接收机
PIN光探测器
激光诱导扩散
2008/3/7
摘要:采用激光微细加工技术来制作单片集成光接收机的探测器,在制作过程中,用固态杂质源10.6 μm激光诱导Zn扩散工艺来进行探测器的p-区掺杂。制作出平面型顶部入射的
InGaAs/InP
P
IN
光探测器,响应度为0.21
A/
W。分析了激光诱导扩散中影响探测器性能的因素,因此提出了扩散温度自动控制、扩散区温度分布均匀化及激光焦斑与扩散区精确对准等相应的改进方法。
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