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中国科学院西安光学精密机械研究所专利：一种膜片飞秒激光刻痕方法
中国科学院西安光学精密机械研究所 专利 膜片 飞秒激光 刻痕方法
2023/7/28
中国科学院西安光学精密机械研究所专利：一种膜片飞秒激光刻痕方法
利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向。通过对PZT-Si膜片的位移量、位移形状的仿真分析,确定了微驱动器的设计尺寸,并估算其液体驱动性能。利用共晶键合工艺、研磨减薄工艺、硅深反应离子刻蚀工艺和准分子激光加工工艺等制备出...
一种完整测量膜片法拉第效应和损耗的方法
光学测量 零锁区激光陀螺 法拉第偏频组件
2009/11/30
提出了一种能完整测量零锁区激光陀螺法拉第偏频组件中旋光膜片的法拉第旋光效应和超低损耗的方法和自动测量系统.该方法利用双光路正交分解平衡测量原理,通过测量两束光光强平衡时起偏器的偏振方向来确定旋光膜片的法拉第转角和超低损耗.测量结果表明：系统对法拉第转角的测量分辨率小于0.9″,损耗测量分辨率为10 ppm.环境温度的波动对法拉第转角的测量变化很小,但对膜片超低损耗测量影响很大,温度变化8.1 K,...
基于平面膜片的高灵敏度光纤Bragg光栅压力传感器
2007/7/28
期刊信息
篇名
基于平面膜片的高灵敏度光纤Bragg光栅压力传感器
语种
中文
撰写或编译
作者
傅海威,傅君眉,乔学光
第一作者单位
刊物名称
传感器技术
页面
2004,23（10）：60-62
出版日期
2004年
月
日
文章标识(ISSN)
相关项目
油气井下分布式光纤光栅压强温度传感系统增敏技术研究
基于平面膜片的光纤光栅传感研究
2007/7/28
期刊信息
篇名
基于平面膜片的光纤光栅传感研究
语种
中文
撰写或编译
作者
傅海威,乔学光,傅君眉
第一作者单位
刊物名称
光子学报
页面
2004,33(9)：1119-1122
出版日期
2004年
月
日
文章标识(ISSN)
相关项目
油气井下分布式光纤光栅压强温度传感系统增敏技术研究