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1-1
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机械工程 WS2
”
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反应溅射
WS2
/Mo
S2
/C复合薄膜的摩擦磨损性能
WS2
MoS2
C
摩擦性能
磨损性能
2009/9/27
为了扩展在潮湿条件下
WS2
/Mo
S2
复合薄膜的应用,使用
WS2
/Mo
S2
作靶材,在Ar/C2H2气氛中通过反应溅射法制备
WS2
/Mo
S2
/C复合薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、X射线能谱仪(EDX)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、MFT-4000材料表面性能试验仪表征薄膜的性能以便评价薄膜的微结构与摩擦性能的关系。结果表明:与纯Mo
S2
薄膜相比,
WS2
/Mo
S2
/C复合薄膜结构致密,硬度提...
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