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通过磁控反应溅射仪制备了ＴａＮ／ＴｉＮ和ＴＡｗｎ／ＴｉＮ多晶超晶格薄膜. 采用Ｘ射线衍射仪. 透射电子显微镜和显微硬度仪对超 格薄膜的微结构和硬度进行了分析.

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