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通过磁控反应溅射仪制备了ＴａＮ／ＴｉＮ和ＴＡｗｎ／ＴｉＮ多晶超晶格薄膜. 采用Ｘ射线衍射仪. 透射电子显微镜和显微硬度仪对超 格薄膜的微结构和硬度进行了分析.
本文探讨了利用微波加热技术碳热还原ＴｉＯ_２合成ＴｉＮ工艺的可行性及其机理，并对碳热还原反应热力学进行了分析．实验结果表明，微波碳热还原法合成ＴｉＮ具有其独特性和优越性．与常规法相比，它不仅能降低合成温度，缩短合成周期，还能细化晶粒，提高粉料活性．

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