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搜索结果: 1-2 共查到材料检测与分杂技技术 p-GaN相关记录2条 . 查询时间(0.015 秒)
 该方法是检测GaN基材料局域光学厚度均匀性的方法。采用显微荧光光谱测量,将测得数据进行处理获得振荡干涉谱,再对干涉谱进行干涉峰位线性拟合,进而得到材料的光学厚度,然后用常规的统计方法就可直接得到厚度不均匀性的分布特征。该方法可为材料生长工艺优化研究提供丰富的信息,特别对严重损害器件质量的局域非均匀性检测方面具有明显的意义。
GaN半导体光电材料的规模化关键生产技术的检测设备是LED外延片生产的必备设备,作为生产、销售的主要依据,因为其无损检测的速度快,成本低,结果直观,可以在外延片出炉后马上检测,成为下一炉工艺参数调整的依据。检测的结果也是销售数据。该成果的光致发光采用400nm半导体激光器,比国外采用的气体激光器,具有成本低、易操作、光强稳定、寿命长、能耗低等特点;光致发光可以给出积分光强、峰值波长、光谱半宽、...

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