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用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI52100轴承钢基体表面成功合成了硬而耐磨的氮化钛薄膜。膜层表面的化学组成和相结构分别用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征;膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出TiN膜结晶完整，结构致密均匀。XRD测试结果表明，TiN在(200)晶面衍射峰最强，具有择优取向。Ti(2p)的XPS谱峰泰勒拟合分析揭示出，Ti(...