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通讯用声表面波材料及器件的研究滤波器声表面波材料制备工艺 2008/11/6

　该成果针对获得了通讯用声表面波新材料及其制备方法；掌握了声表面波器件设计的原理和方法，完成了两种滤波器的设计：一种为具有叉指叉指换能器的滤波器，另一种为具有纵向谐振耦合换能器的滤波器；完成了SAW器件制备工艺的研究，形成了从器件设计、材料选择、基片处理、镀膜、叉指电极刻蚀、结构分析与测试等声表面波材料与器件研究的实验室研制线；制备出中心频率为920MHz的SAW滤波器，性能均达到本课题预定的性能...