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脉冲离子束辐照对TiH2膜表面微观结构的影响
TiH2 脉冲离子束 表面形貌 慢正电子湮没技术
2013/3/18
在TEMP－6型强流脉冲离子束装置上, 利用能量密度0.1－0.5 J/cm2,脉宽100 ns, 能量100 keV的C+和H+混合离子束对TiH2膜进行逐次轰击以研究其在脉冲能量下的稳定性.采用扫描电镜和表面轮廓仪对TiH2膜辐照前后表面形貌进行研究;利用X射线衍射和慢正电子湮没技术对脉冲离子束辐照前后TiH2膜的物相和缺陷结构进行分析.结果表明: 0.1－0.3 J/cm2的脉冲束流辐照热－...