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中国科学院上海硅酸盐研究所专利：一种长条状碳化硅陶瓷部件烧结用工装
中国科学院上海硅酸盐研究所 专利 长条状 碳化硅陶瓷 部件烧结 工装
2024/7/10
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中国科学院上海硅酸盐研究所专利：一种碳化硅晶体生长过程中调节和旋转坩埚的装置及方法。
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