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本文以MEMS红外气敏传感器为应用目标，采用MEMS技术设计和制作一种基于二维金属亚波长孔阵列结构的红外辐射源。探讨了不同厚度SU-8膜对金属/ 电介质/金属（M/ D/M）二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外（2~14微米）波段透射特性的影响。设计并制作了Au/SU-8/Au的M/D/M结构，其中金属膜Au的厚度为20纳米，控制在趋肤深度以内，SU-8膜的厚度从0.2微米到1.2微米。采用傅里叶变...