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2023年11月22日,中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光元件技术与工程部吴卫平团队与复旦大学合作,在超薄纳米光学元件表面防污处理方面取得进展。该团队提出了通过将柔性瓶刷形有机硅聚合物单分子层原位接枝于光学基底表面,得到具有耐污效果的新型“类液体”超滑薄膜。该透明超滑抗污薄膜在可见光区域透过率无显著下降,在红外区域透过率仅下降3%,是疏水表面领域全光谱内少有的高透过率方案。相关研究成果以A...
X射线波带片是纳米X射线成像系统的核心元件之一,为了研制高分辨率X射线波带片,对纳米结构的电子束光刻和高精度电镀进行了实验研究。首先,通过对电子束曝光工艺版图进行优化设计,平衡了邻近效应对纳米结构的影响,有效地控制了光刻胶的扭曲和坍塌。实验结果表明,采用校正的工艺版图,用线曝光方式在800pC/c m2剂量下可以研制出厚度为270nm、最外环宽度为50nm的高分辨率X射线波带片光刻胶结构。然后,在...

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