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硬质合金基体腐蚀工艺对金刚石薄膜的影响
金刚石薄膜 硬质合金 表面预处理
2003/9/5
采用不同的预处理方式浸蚀YG6硬质合金基体表面， 随后在热丝化学气相沉积装置上沉积了金刚石薄膜。用扫描电子显微镜、 X射线衍射仪以及洛氏硬度计对样品进行了分析检测。结果表明： 一步或两步浸蚀法都能抑制沉积过程中基体表面钴的不利影响。 采用两步法， 即Murakami剂30min腐蚀碳化钨相，再用H2SO4∶H2O2=3∶7（体积比）混合酸腐蚀30s去除钴相， 基体表面粗糙， 金刚石薄膜形核密度高，...