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微扰法在衍射光栅分析中的应用光栅, 微扰法衍射 RCWA 2015/9/14

在微电子结构中常见的二维衍射光栅的分析中，严格耦合波分析法（Rigorous Coupled Wave Analysis，RCWA）方法计算耗时，占用内存比较大.本文将微扰法与RCWA相结合的算法应用于二维衍射光栅分析中，以提高其计算效率.求解非矩形光栅问题时，需将光栅做阶梯近似.通过RCWA求解参考层的本征值，其余层的本征值可通过微扰法得到.实验表明，微扰法满足计算精度要求，且计算效率也能得到提...