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流体环境中静电微悬臂梁的多场耦合仿真分析（Multi-physics Analysis of an Electrostatically Actuated Microcantilever in Viscous Fluids）
静电致动器 流固耦合 数值仿真
2009/5/22
微器件动力学特性通常受到周围粘性流体阻尼的强烈影响，在器件优化设计中，需要建立静电—结构—流体三场耦合模型才能细致考虑这些影响。为研究微开关在粘性流体介质中的动/静态特性和流体阻尼，建立以Navier-Stokes方程描述流体特性的静电微开关模型并进行数值分析；与相关文献结果比较验证了计算的正确性；得到了空气和去离子水介质中微开关的静/动态闭合电压、不同阶跃电压驱动下的闭合特性和流体阻尼力分布的情...