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“
机械工程 微机电
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压电薄膜
微机电
加速度传感器的力学分析
微机电加速度传感器
压电效应
压电薄膜
灵敏度
2009/3/11
基于压电薄膜的压电效应,研究压电薄膜
微机电
加速度传感器.对双层压电薄膜
微机电
加速度传感器进行静力分析,得到传感器方程,并进行数值计算.结果表明,随着压电薄膜厚度的增大,灵敏度随之增大,在一定厚度下达到最大值,随着厚度的进一步增大,灵敏度反而减小.然后进行动力分析,得到噪音、质量因子、最小可测信号等技术参数,并进行了数值计算.运用ANSYS软件进行谐响应分析,得到不同频率下结构的动力响应曲线.
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