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搜索结果:
1-2
共查到
“
光信息技术 深紫外
”
相关记录2条 . 查询时间(0.189 秒)
深紫外
Micro-LED与超宽色域显示技术取得进展(图)
深紫外
Micro-LED
超宽色域显示技术
IEEE Electron Device Letters
2022/1/13
近日,由南方科技大学电子系、香港科技大学先进显示与光电子国家重点实验室、中科院苏州纳米所组成的联合攻关团队在
深紫外
Micro-LED与超宽色域显示技术领域取得进展,相关结果发表于电子领域顶级期刊IEEE Electron Device Letters。
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文献传递
离子束溅射、热舟和电子束法制备
深紫外
LaF3薄膜
薄膜
LaF3
热蒸发
离子束溅射
深紫外
2013/7/25
为了满足
深紫外
光刻物镜对薄膜的要求,得到低损耗、高稳定性、长寿命的
深紫外
薄膜,需要选用适当的镀膜工艺方法。分别选取了离子束溅射法、热舟蒸发法和电子束蒸发法优化后的最佳工艺参量,在融石英基底上使用3种方法镀制了单层LaF3薄膜。首先,利用光度法得出3种方法镀制LaF3薄膜在185nm~800nm范围内的折射率n和消光系数k。然后,采用原子力显微镜对薄膜表面粗糙度进行了测量。最后,薄膜的微结构使用X射...
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