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本发明是一种针对带电粒子束发生和应用领域真空设备中带电粒子束（团）的三维空间结构成像探测方法。该方法采用微通道板（MCP）和荧光屏组成成像探测单元，通过步进电机控制成像探测单元在带电粒子束的飞行路线上前后移动，通过记录一定时间内到达成像探测器前表面的带电粒子数量及其二维分布情况，实现对带电粒子束截面的成像探测。通过在MCP上加直流脉冲电压，可以得到带电粒子束的时间切片成像，获得短时间（最短可至10...