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中国科学院西安光学精密机械研究所专利：一种WolterⅠ型非球面反射镜角分辨率检测系统及方法
中国科学院西安光学精密机械研究所专利：一种离轴抛物面反射镜快速检测方法及装置
中国科学院西安光学精密机械研究所专利：空间激光通信终端光学部件效率检测装置及效率检测方法
2020年6月29日至30日，由中国光学工程学会与美国SPIE共同主办2020超精密光学加工与检测技术交流会在线上召开，取得圆满成功。此会议是AOPC2020大会分会之一。受疫情影响，改为线上会议，同时设立4个线下会场，分别是：上海主会场、长春理工大学分会场、中科院西安光学精密机械研究所分会场以及中科院光电技术研究所分会场。会议能如期召开归功于承办单位和联办单位的支持。
中国科学院上海光学精密机械研究所提出一种基于静态多平面相干衍射成像的大口径光学元件相位缺陷检测新方案（图）
中国科学院上海光学精密机械研究所 静态多平面相干 衍射成像 大口径光学元件 相位缺陷 检测新方案
2020/5/9
近期，中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室朱健强研究员团队在大口径光学元件的相位缺陷检测研究方面取得新进展，提出了结合暗场成像和静态多平面相干衍射成像的新型检测方案，相关成果于5月7日发表于《应用光学》(Applied Optics)。
近期，中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心研究团队在Φ600mm口径干涉仪绝对检测技术研究方向取得新进展，提出一种基于多表面干涉原理的原位绝对面形检测技术，实现Φ600mm口径干涉仪标准平晶绝对面形误差的原位测量，相关成果于2月26日发表在[Optics and Lasers in Engineering, 129, 106054 (2020)]。
中国科学院上海光学精密机械研究所参与项目“强激光光学元件表面缺陷精密检测技术及应用”荣获2017年度安徽省科技进步奖一等奖（图）
强激光 光学元件 表面缺陷 精密检测技术 2017年度 安徽省 科技进步奖 一等奖
2018/3/1
2018年2月23日，安徽省科学技术奖励大会在合肥召开。安徽省委书记李锦斌、中科院院长白春礼为重大科技成就奖获得者颁奖，中科院副院长相里斌出席大会。上海光机所作为第二完成单位、邵建达研究员作为第一完成人的项目”强激光光学元件表面缺陷精密检测技术及应用”荣获安徽省科技进步奖一等奖。根据安徽省科学技术厅最近发布的《2017年安徽省科学技术奖励评审委员会评审结果公告》，安徽省科学技术奖共评定一等奖18项...
中国科学院自动化研究所实现大口径光学元件表面微粒在线检测
中国科学院自动化研究所 大口径 光学元件 表面微粒 在线检测
2017/10/26
近日，中国科学院自动化研究所精密感知与控制中心研究员徐德、张正涛在IJAC第4期发表了研究论文An Effective On-line Surface Particles Inspection Instrument for Large Aperture Optical Element。文章介绍了最新设计的一款新型紧凑检测仪，可用于快速检测LAOE表面的微粒污染，该仪器携带方便，实现在线检测。
介绍了Ф420 mm熔石英高次非球面透镜的加工与检测方法。对现有数控加工工艺进行了优化，通过分工序加工方式，依次采用机器人研磨、抛光和离子束修形技术完成了透镜的加工。进行非球面透镜检测时，考虑透镜的凹面为球面，利用球面波干涉仪对其面形进行了直接检测，剔除干涉仪标准镜镜头参考面误差后，透镜凹面的精度达到0.011λ-RMS；针对透镜的凸面为高次非球面，采用基于背后反射自准法的零位补偿技术对其进行面形...
针对芯片即时检测(POCT)芯片对键合精度、键合强度、生产效率和生物兼容性的要求,基于超声波键合技术设计了结构化的导能筋布置形式和阻熔导能接头结构。研究了超声波键合时间和键合压力对微通道高度保持性能的影响,确定了精密超声波键合工艺参数。利用高精度显微镜、拉伸试验机和羊全血分别对键合后芯片的微通道高度、键合强度、微通道密闭性以及液体自驱动性能进行了测试。结果表明:所设计的导能筋布置形式合理可靠;利于...
如何快速准确计算透镜焦面上的光斑质心坐标是大口径平面光学元件面形检测系统的核心问题之一，直接决定面形检测的精度和重复性。定义一个半径为r的探测窗口，根据到中心距离建立一维卷积模板，在光斑覆盖区域中寻找窗口内能量和局部最大的位置，确定光斑有效区域；再使用传统重心法计算有效区域质心；最后应用3σ准则进行误差处理。实验结果表明，该算法检测精度为0.1像素，各指标比传统阈值加权质心定位法提高约1 倍，面形...
ICF终端光学元件损伤在线检测装置的研究
在线检测 终端光学元件 变焦距光学系统
2013/1/11
终端光学元件是惯性约束聚变（ICF）系统最重要的组成部分之一。文中针对ICF系统中终端光学元件损伤的高精度、高效率检测问题，对光学元件损伤在线检测技术进行了研究，以“神光-Ⅲ原型装置”终端光学元件为检测对象设计了光学元件损伤在线检测系统。针对终端光学元件的排布特点及其检测要求，利用CODEV软件设计了高分辨率变焦距望远光学系统；根据终端光学元件在靶室中的分布位置，设计了相应的对准及定位系统，实现了...
光学元件干涉检测数据的定位处理方法
光学检测 数控加工 边缘检测 随机误差
2011/6/20
在光学元件的抛光阶段,通常采用干涉仪对光学元件的面形数据进行检测,为进一步的加工工作提供指导意见.为了利用干涉仪检测数据给出被测光学元件面形上的各点空间坐标准确位置,对面形数据的原始数据做二值化处理,用Sobel算子采用基于边缘检测的方法准确提取光学元件的外形轮廓数据,采用基于半径约束的最小二乘拟合方法对被测光学元件的内、外圆边缘数据进行多次处理,求取内、外圆的圆心位置,半径大小,根据等准确度测量...
非球面碳化硅反射镜的加工与检测
非球面 碳化硅反射镜 计算机控制光学表面成型
2009/9/22
为了获得高精度非球面碳化硅(SiC)反射镜，对非球面碳化硅反射镜基底以及改性后碳化硅反射镜表面的加工与检测技术进行了研究。介绍了非球面计算机控制光学表面成型（CCOS）技术及FSGJ-2非球面数控加工设备。采用轮廓检测法和零位补偿干涉检测法分别对碳化硅反射镜研磨和抛光阶段的面形精度进行了检测，并采用零位补偿干涉检测法及表面粗糙度测量仪对最终加工完毕的碳化硅反射镜的面形精度和表面粗糙度进行检测。测量...