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近日,西南交通大学机械工程学院摩擦学研究所超精密表面制造团队以西南交通大学为第一通讯作者单位,与清华大学摩擦学国家重点实验室团队合作,在Nature子刊Nature Communications上撰文报道了半导体晶圆材料的极限加工研究进展,实现了单层硅原子的可控去除。这是以西南交通大学为主导,在该杂志发表的首篇论文。该论文的第一作者为我校机械工程学院陈磊副研究员,共同通讯作者为我校机械工程学院钱林...
机械科学研究总院发表论文

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