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中国科学院宁波材料技术与工程研究所表面事业部科研人员在硼硅玻璃表面气相沉积耐高温薄膜关键技术开发及产业化推广中取得重要进展。近年来国内外相关科研机构和企业尝试开发特种硼硅玻璃深加工后部分替代价格昂贵的微晶玻璃的技术，应用于建筑、新能源、电子信息和高档家电等领域，可显著降低成本，应用前景和市场巨大。宁波材料所科研人员与企业合作，经过近两年的试验室开发和企业连续镀膜生产线试制。解决了大面积玻璃镀膜色差...
17.磁控溅射及多弧镀膜靶材
2008/1/16
17.磁控溅射及多弧镀膜靶材
(中国科学院金属研究所)
一、成果内容简介：铬靶主要用于磁控溅射镀茶色玻璃。由于铬的熔点高（约1800℃），铸造很困难，大多采用粉末烧结法，价格昂贵。中国科学院金属研究所采用均质合金特种冶炼技术，用铸造方法批量生产，降低了成果，并保证致密、杂质少，纯度高（>99.3%）。Ti-Al合金靶材是多弧离子镀（Ti，Al）N薄膜的核心材料，要求其成分均匀，纯洁度高...