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金属材料表面改性技术是一门新兴的技术,主要包括激光表面改性、离子注入法、物理气相沉积法和热喷涂等,简述了该4种技术的研究和发展现状,对各种技术的原理和应用状况分别加以描述,最后总结了材料表面改性技术的发展前景。
弧源-多离子束材料表面改性技术是在具有离子束注入源、离子束溅射源、弧源及工件负高压电源等装置中实现的。处理工件表面改性层有较宽过渡层,附着性好,沉积速率高;在工件表面可形成单层或多层氮化物、碳化物、氮-碳化物等改性层;一机可以完成离子镀、离子束混合、离子注入。可用于各类刀具、模具、轴承、牙轮钻、手表、灯具等零件;本技术无公害,有广泛应用前景。
全元素离子束材料表面改性技术是在具有全元素离子注入系统、离子溅射沉积系统的真空设备中实现的,可以制作和改性硬质膜,合金膜、光学膜和电导膜等功能膜层。本技术可以完成全元素离子束增强沉积、气体离子注入、金属离子注入和复合离子注入。可广泛用于宇航、石油化工、机械工程、电子工程的各种零件和器件。

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