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面向大批量、低成本市场开发MEMS传感技术的先驱Omnitron Sensors，近日宣布将与赛微电子旗下Silex Microsystems合作量产用于激光雷达（LiDAR）的MEMS扫描镜。Omnitron Sensors联合创始人、首席执行官（CEO）Eric Aguilar表示：“我们注意到汽车高级驾驶辅助系统（ADAS）、无人机及其他机器人系统制造商对低成本、高可靠的激光雷达有着巨大的需...
中国科学院微电子研究所专利：制热型MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法
中国科学院声学研究所专利：一种用于MEMS麦克风的数字前置放大器
振动能量采集器因其可代替电池，收集环境中振动能为IOT设备提供能源，近年来受到广泛关注。而在IOT设备应用的典型场景-工业环境中，高温度及高湿度极端环境无处不在。静电型振动能量采集器内部预充电电荷受极端环境影响容易衰减，这对能量采集器的大规模应用造成极大挑战。针对这一问题，南方科技大学深港微电子学院汪飞副院长率领团队研发了一款基于MEMS技术制造的，集成了硅针尖阵列的电荷可修复型静电能量采集器。当...
东南大学MEMS教育部重点实验室
东南大学MEMS教育部重点实验室 微电子学
2022/5/7
东南大学1983年开始集成传感器的研究，并于1985年在欧洲固态电子器件会议《ESSDERC￠85，Germany, p.88》报道了集成MOS流量传感器的研究结果；1986年开始了硅片直接键合技术研究，并于1987年在《Applied Surface Science，30(2)，397（1987）》报道了硅键合材料的测试结果；1987年开始了微传感器CAD研究，并于1988年在《Solid St...
基于宽禁带氧化物半导体薄膜材料的MEMS传感器研发（图）
宽禁带氧化物半导体薄膜材料 MEMS传感器
2022/2/22
2021年12月第一届全国博士后创新创业大赛在广东省佛山市举办，中山大学博士后青年英才积极组队参加，展现了中山大学博士后队伍建设的蓬勃气象。本届大赛以“博采科技精华 创新引领未来”为主题，共设创新赛、创业赛、海外（境外）赛和揭榜领题赛等四个组别，约1400个项目以路演和答辩为主要展示形式，线下现场赛和线上云参赛相结合，经过3天的激烈角逐，我校代表团共获得1个银奖、3个铜奖、8个优胜奖的好成绩。
东南大学电子学院牵头国家重点研发计划“硅基MEMS高能量密度薄膜锂离子电池”项目启动暨实施方案论证会顺利召开（图）
东南大学电子学院 国家重点研发计划 硅基MEMS 高能量密度 薄膜 锂离子电池 无线传感网 论证会
2021/4/6
2021年3月31日，东南大学电子学院黄晓东教授牵头的国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项“硅基MEMS高能量密度薄膜锂离子电池”项目启动暨实施方案论证会在南京顺利召开。电子学院科研副院长徐申及科研院等相关部门负责同志出席了论证会。
运用ABAQUS仿真平台建立导弹撞击不同硬度目标模型以及MEMS惯性开关模型，分析了导弹撞击目标过程中的惯性过载情况、惯性开关在撞击惯性力情况下的闭合情况，结合导弹弹道过载特性及目标识别解算准则，设计了MEMS惯性触发电路和惯性开关；结果表明：MEMS惯性触发电路可以对防空导弹弹道过载进行准确的测量，当冲击过载超过300g时，MEMS惯性触发电路可以有效起爆传爆序列，当冲击过载小于300g...
MEMS技术用于制造等离激元近红外光谱仪（图）
MEMS技术 近红外光谱仪 光谱学
2020/3/17
近红外光谱提供了物质独有的吸收光谱，因此可以区分气体种类。因此，需要小型化光谱仪来实现用于监测居住环境中的空气质量的紧凑型气体传感器。然而，常规的近红外光谱仪具有光栅以将入射光分散成不同的波长，因此光谱学需要较长的光程长度，难以将这些设备小型化。
基于MEMS引信安全系统的工作原理，分析了应用于MEMS引信的火工作动器的特性，总结了火工作动器在MEMS安全系统中的主要功能，提出了MEMS引信用火工作动器设计过程中需要解决的关键问题，为MEMS引信安全系统及相关火工作动器设计提供了参考。
提出了一种基于MEMS自校准双目测距方法。利用IMU姿态传感器与三轴伺服电机作为摄像头光轴自校准平台，采用双目相机成像模型进行测距。结果表明，该方法利用IMU姿态传感器可以有效地校准摄像头光轴，使其完全平行，同时双目相机成像模型测距精确度和速度较高，满足视觉测距的精确性、快速性需求。
MEMS是事关国家长远发展和国家安全的前沿性、战略性、颠覆性技术，被列入《国家中长期科技发展规划纲要》（2006-2020）。在国家973计划、国家863计划、国家重点研发计划等支持下，我国MEMS研究取得长足发展。为全面、系统地向国际上介绍中国MEMS研究的最新进展，东南大学黄庆安教授受中国微米纳米技术学会委托，组织了MEMS丛书并担任主编，该丛书日前已由国际著名出版机构Springer出版。丛...
国内领先的硅光子平台和MEMS工艺平台开始对外服务（图）
硅光子平台 MEMS工艺 对外服务
2017/5/31
近日，中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心对外发布了基于8英寸CMOS工艺线的硅光子平台和MEMS工艺平台，开始面向国内外企业开展技术服务，标志着我国在硅光子和MEMS领域的研发能力大幅提高，将显著提升企业和科研机构在上述领域的研发进度。硅光子技术是在后摩尔时代微电子与光电子融合趋势下发展起来的新型技术，它利用成熟的CMOS技术和平台并基于硅基材料进行光电器件和芯片的开发与生产。硅光子不...
利用北斗定位系统计算弹道轨迹，利用MEMS惯性测量单元解算弹道惯性参数，并通过无迹卡尔曼滤波器（UKF）对两者的数据进行数据融合，以提高弹道参数测量的精度。分析了各弹道参数的测量方法，设计了无迹卡尔曼滤波器，并利用某型制导火箭弹的六自由度仿真数据对组合导航算法进行验证。仿真结果分析表明：基于UKF的MEMS/北斗组合测量方案能够有效地对火箭弹的弹道参数进行测量，且通过UKF滤波器进行数据融合能够消...
中日韩微纳机电系统会议创始于2010年，迄今已在Sapporo（第一届日本札幌）、Jeju Island（第二届韩国济州岛）、Shanghai（第三届中国上海）、Sendai（第四届日本仙台）、Seoul（第五届韩国首尔）、Xi’an（第六届中国西安）、Sapporo（第七届日本札幌）连续举办了七届会议。本届联合会议由韩国机械与材料研究所（KIMM）承办并于2017年7月13日-15日在韩国首尔召...