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用VHF-PECVD技术研制大面积硅基薄膜
VHF-PECVD 硅基薄膜 太阳能电池
2008/12/3
该项目在反应室外采用同轴电缆，在真空反应室内采用矩形不锈钢导槽不接触式包裹VHF铜板导线，实现VHF信号的良好屏蔽；采用中心点馈入法很好地消除了电极表面的驻波（TEM波）和损耗波(TE波)造成的电场不均匀性问题；保证在VHF-PECVD的辉光区的两个平行板电极绝对平行，无任何金属突起（如金属夹具等），以获得均匀的薄膜材料；采用中心点馈入法对馈线和电极的连接方式进行了特殊设计；通过改变流量，激发功...