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利用CCD器件进行光学检测,普遍采用二值化的脉冲计数法,即每个脉冲都代表了一个像元间距,所以CCD的检测分辨率只能达到像元间距的大小。虽然在光学系统中可以采用增加系统放大倍数的方法来提高CCD的检测分辨率,但是由于成像系统的像差、球差以及衍射效应的存在,光学系统最多只能放大几十倍,因此CCD的检测分辨率只能达到微米量级。为进一步提高CCD的检测分辨率,本文提出了一种全新的方法,即多次采样处理,以此...

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