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磁控溅射Cu膜表面演化的多尺度行为 Cu膜表面演化动力学标度 2008/12/10

用原子力显微镜(AFM)观察磁控溅射Cu膜的表面形貌, 并基于功率谱密度(PSD)和粗糙度测量方法对薄膜进行了量化表征, 研究了薄膜表面演化的动力学标度行为.结果表明: 薄膜表面演化具有多尺度特征, 在全域和局域呈现两种不同的标度行为.全域的粗糙度指数αg≈0.83, 生长指数βg≈0.85; 而局域的粗糙度指数αl≈0.88, 生长指数βl≈0.26.这种差异揭示了薄膜生长机制的尺度依赖性. 薄...