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搜索结果: 1-1 共查到“金属材料 CZSi”相关记录1条 . 查询时间(0.164 秒)
文章摘要： 为了降低大直径CZSi单晶生长过程中氧的引入, 采用不同的热场,通过最优化方法, 得到了适于大直径(154mm)晶体生长的热场温度分布,使熔体的纵向温度梯度下降, 热对流减小, 硅单晶中氧含量降低.

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