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材料表面与界面
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搜索结果:
1-1
共查到
“
材料表面与界面 Cu膜
”
相关记录1条 . 查询时间(0.136 秒)
多晶柱状
Cu膜
的表面粗化与织构
Cu膜
表面粗化
织构
2008/11/26
用磁控溅射工艺分别在Si和Al2O3衬底上沉积两种不同织构组分的多晶柱状
Cu膜
, 基于动力学标度方法表征两种薄膜的表面粗化特征. 结果表明,
Cu
(111)取向晶粒组分多的薄膜的生长指数较大、表面粗化速率较快. 对于较低温度下沉积的多晶柱状薄膜, 基于其晶粒几何形态和弱化的晶界限制的特点, 提出了一种表面粗化机制, 认为薄膜的表面粗化主要依赖于其晶粒表面的粗化过程, 而薄膜织构决定了薄膜表面粗化速...
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