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西湖大学研究员李西军应邀来中国科学院电工研究所作报告（图）
西湖大学 研究员 李西军 中国科学院电工研究所 微纳加工工艺
2020/8/26
2020年8月19日，西湖大学研究员李西军应邀来电工所进行交流访问，并作了关于电子束曝光工艺技术方面的学术报告。会议由电工所研究员刘俊标主持。李西军是浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室副主任，西湖大学先进微纳加工和测试平台主任，浙江省特聘专家，主要从事微纳加工工艺研究和微纳加工装备的开发，先后在半导体材料、集成微纳光学领域发表论文40余篇，并作为第一申请人获国际国内授权专利20余项。
